发布日期:2024-02-14 04:08 点击次数:148
EUV光刻机,又称极紫外线光刻机,是芯片生产工具,是生产大规模集成电路的核心设备,对芯片工艺有着决定性的影响,其中,小于5纳米的芯片晶圆,只能用EUV光刻机生产。
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